TF lab 4040 系列 非接触式单点薄层测试仪

TF lab 4040 系列专用于介质尺寸的衬底的非接触单点测量。灵活适用的台式设备允许根据其设置对面电阻、金属厚度、光学透明度或电（非）各向同性进行精确的手动测量。最常见的应用包括测量薄导电透明和非透明层、晶片或金属片。

优势

非接触式、实时、稳健

准确且可重复的测量

高测量质量，不受以下因素影响：

均匀的接触质量

钝化/封装

粗糙度

对敏感层无伤害

精确测量

传统导电薄膜

网格和线结构

多层系统

隐藏和封装的导电层

不穿

用于系统质量保证的软件指导手动映射

多种测量数据保存和导出功能

节省空间的智能显示器集成（用于每个触摸屏的测量和数据评估）

使用客户程序的软件开发套件测试自动化

测量

技术：非接触式涡流（各种传感器类型）

单点测量

定位区域：760 mm x 660 (open) mm

推荐的样品尺寸：10 x 10 mm² 到 400 x 400 mm²（0.5 x 0.5 英寸到 16 x 16 英寸）

参数：

薄层电阻 0.1 mOhm/sq 至 100 kOhm/sq

金属层厚度 1 nm 至 2 mm（其他应要求提供）

光学透明度 0.01 – 100 %

电各向异性 0.33 - 3

软件和设备控制

非常人性化的软件

直观的触摸显示导航

根据设置实时测量薄层电阻、层厚度和光学透明度

软件辅助手动映射选项

各种数据保存和导出选项

电阻测试仪参数

测量技术	非接触式涡流传感器
基材	箔、玻璃、晶片等
基板面积	29.5“ x 25.6” / 750 毫米 x 650 毫米（400 毫米 x 400 毫米样品）
最大限度。样品厚度/传感器间隙	3 / 5 / 10 / 25 毫米（由最厚的样品定义）
金属薄膜（例如铜）的厚度测量范围	2 nm – 2 mm（根据面电阻 ）
设备尺寸 (w/h/d)	30“ x 12” x 26“ / 760 毫米 x 310 毫米 x 660 毫米
重量	20公斤
更多可用功能	薄层电阻测量、金属厚度测试仪、各向异性传感器、透光率、反射率、雾度
	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
范围 [欧姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
精度/偏差			± 1%	± 1 – 3%	± 3 – 5%
重复性 (2σ)			< 0.3%	< 0.5%	< 0.3%

* VLSR - 极低薄层电阻，LSR - 低薄层电阻，MSR - 中等薄层电阻，HSR - 高薄层电阻，VHSR - 极高薄层电阻

升级测试

薄层电阻测试仪 （Ohm/sq、OPS、Ohm per square）

金属层厚度测试仪 (nm, µm, mil)

混合系统：光学和电气传感的组合 –（薄层电阻 + 光学透射率、反射率和漫透射率）

各向异性和薄层电阻测试仪 (MD/TD)

湿涂层厚度和残留水分 – HF 

<<data_sheet_eddycus_tf_lab_4040sr.pdf>><<data_sheet_eddycus_tf_lab_4040hs.pdf>>