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    UL-Coat-3 常压等离子设备

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    UL-Coat-3 常压等离子设备

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    简介:

    AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层,涂层均匀性好且高效快速。

    规格参数:

    基本参数

    镀膜材料:SiO2/SiOx

    镀膜厚度:50-1000nm

    均匀性:+/-2%

    处理温度:RT-200℃,取决于处理速度

    处理速度:0-20m/min,根据实际应用调整

    枪头

    3个

    电缆线

    3m、5m、7m可选

    发生器

    尺寸:520mm×460mm×210mm,重量:20Kg

    控制系统

    PLC可实现下列功能:

    Ø简单便捷的操作界面;

    Ø根据处理材料设定不同的处理工艺参数,并且形成工艺菜单;

    Ø设置进气停气,加电停电,输入电压等指标;

    Ø监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内;

    Ø设定操作进入密码。

    电源供应

    220-230V AC, 50/60Hz, 15A

    工艺气体

    压缩空气、氮气、其他混合气体,消耗量:150L/min

    气体输入

    一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC),输入压力:3Bar

    尾气排放

    150m3/min

    安全性能

    急停开关;接地保护;CE安全认证

    选件

    定制OEM

    主要应用

    1,表面活化改性后进行等离子镀膜,膜粘接能力强;

    2,支持其他镀膜研究;

    3,缺陷修补等其他应用。

    功能图解(没有的暂空着):

    应用系统(没有的暂空着):

    相关产品:

    UL-Coat-1,UL-Coat-2

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